到达本底真空的时间减少50%到75%
通过减少蒸气存在和低污染来提高产出,无需隔离阀,通过温度控制来选择抽除水蒸气
安装和运行成本低
没有冷媒管线,可以远程放置压缩机
采用 CTI Cryogenics 的 低温冷却技术经过20多年的苛刻应用实践验证是清洁和可靠的
先进的 On-Board 控制系统可以优化工艺并能监控、预测维护,实现网络化管理泵组,使用方便
与其他 On-Board 泵兼容,包括通用客户接口、压缩机和通讯协议