| 标准规格| 排气速度（20℃） | 氮气 | L/s | 1,700 | | 氢气 | 3,200 | | 氩气 | 1,400 | | 水 | 4,000 | | 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | | 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.2×103(8.9) | | 氢气 | 2.4×102(1.8) | | 排气量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 2.5×108(1.9×106) | | 氢气 | 1.0×106(7.8×103) | | 冷却下降时间 | min(Hz) | 110/100(50/60) | | 吸气口法兰 | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | | 压缩机装置 | C10,C10ES | | 重量 | Kg | 33.2 |
*保养周期：16,000小时
*移动底座是选购件
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